若用户所需氮气纯度大于 99.99% 时,在 SCM 制氮系统的基础上应配置纯化设备。本系列产品采用碳脱氧催化剂,不需消耗氢气源,碳与氮气中的余氧反应生成二氧化碳,再采用变压吸附工艺除去氧化碳和水,经过滤后得到高纯度氮气。高纯度氮气技术指标可达 O 2 ≤ 3 PPm,CO 2 ≤ 4 PPm,露点≤ -60°C。
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